ویکیوم کوٹنگ ٹیکنالوجیمختصراً PVD، ایک ایسی تکنیک ہے جو کسی مادّی ماخذ کی سطح کو ویکیوم حالات میں ایٹموں، مالیکیولز یا آئنوں میں بخارات بنانے کے لیے جسمانی طریقوں کا استعمال کرتی ہے، اور سبسٹریٹ کی سطح پر ایک خاص خاص فنکشن کے ساتھ ایک پتلی فلم جمع کرتی ہے۔ ویکیوم کوٹنگ کے سامان کی کوٹنگ ٹیکنالوجی کو بنیادی طور پر تین اقسام میں تقسیم کیا گیا ہے: بخارات کا ذخیرہ، پھٹنا، اور آئن چڑھانا۔ بخارات کی کوٹنگ ٹیکنالوجی کی تین اقسام ہیں: مزاحمتی بخارات، الیکٹران بیم بخارات، اور انڈکشن ہیٹنگ بخارات۔
ویکیوم کوٹنگ کے آلات میں کوٹنگ ٹیکنالوجی کے لیے تین اہم سمتیں ہیں: بخارات کی کوٹنگ ٹیکنالوجی، آئن کوٹنگ ٹیکنالوجی، اور میگنیٹران سپٹرنگ کوٹنگ کا سامان۔ ہر کوٹنگ ٹیکنالوجی کے اپنے فوائد اور نقصانات ہوتے ہیں، اور مختلف ذیلی ذخائر اور اہداف کو مختلف کوٹنگ ٹیکنالوجیز کے ساتھ لیپت کیا جاتا ہے۔
مزاحمتی بخارات کی کوٹنگ ٹکنالوجی مزاحمتی حرارتی بخارات کے ذریعہ کی بخارات کی کوٹنگ ٹیکنالوجی کو اپناتی ہے، جو عام طور پر کم پگھلنے والے مقام کے مواد جیسے ایلومینیم، سونا، چاندی، زنک سلفائیڈ، میگنیشیم فلورائیڈ، کرومیم ٹرائی آکسائیڈ وغیرہ کو بخارات بنانے کے لیے استعمال ہوتی ہے۔ حرارتی مزاحم عام طور پر ٹنگسٹن، مولیبڈینم، ٹینٹلم وغیرہ سے بنے ہوتے ہیں۔ منفرد فوائد، سادہ ساخت اور کم قیمت۔ نقصان: مواد کروسیبل کے ساتھ رد عمل کا شکار ہے، پتلی فلم کی پاکیزگی کو متاثر کرتا ہے، اور اعلی پگھلنے والے نقطہ ڈائی الیکٹرک پتلی فلموں کو بخارات نہیں بنا سکتا؛ کم بخارات کی شرح۔
مزاحمتی بخارات چڑھانا الیکٹران بیم بخارات ایک ایسی ٹیکنالوجی ہے جو مواد کو بخارات بنانے اور بخارات بنانے کے لیے تیز رفتار الیکٹران بیم ہیٹنگ کا استعمال کرتی ہے، اور پھر سبسٹریٹ کی سطح پر ایک فلم میں گاڑھا ہو جاتی ہے۔ الیکٹران بیم ہیٹ سورس کی توانائی کی کثافت 104-109w/cm2 تک پہنچ سکتی ہے، اور 3000 ڈگری سے زیادہ تک پہنچ سکتی ہے۔ یہ اونچی پگھلنے والی دھاتوں یا ڈائی الیکٹرک مواد جیسے ٹنگسٹن، مولیبڈینم، جرمینیئم، SiO2، AL2O3 وغیرہ کو بخارات بنا سکتا ہے۔
الیکٹران بیم کے بخارات کا بنیادی اصول یہ ہے کہ ایک اعلی ویکیوم ماحول میں، الیکٹران گن کے ذریعے خارج ہونے والے ہائی انرجی الیکٹران برقی اور مقناطیسی شعبوں کے عمل کے تحت ہدف کے مواد کی سطح پر بمباری کرتے ہیں، حرکی توانائی کو حرارتی توانائی میں تبدیل کرتے ہیں۔ ہدف کا مواد گرم ہو جاتا ہے، پگھلا جاتا ہے، یا براہ راست بخارات بن جاتا ہے، جس سے سبسٹریٹ کی سطح پر ایک پتلی فلم جمع ہوتی ہے۔
الیکٹران بیم کو گرم کرنے کے لیے بخارات جمع کرنے کے دو قسم کے ذرائع ہیں: سٹریٹ گن الیکٹران گنز اور ای ٹائپ الیکٹران گنز (سرکلر بھی)۔ الیکٹران بیم ماخذ سے خارج ہوتا ہے اور فلمی مواد پر بمباری اور گرم کرنے کے لیے مقناطیسی فیلڈ کوائل کے ذریعے توجہ مرکوز اور ہٹایا جاتا ہے۔ اس کے فوائد میں کسی بھی مواد کو بخارات بنانے کی صلاحیت، فلم کی اعلیٰ پاکیزگی، مواد کی سطح پر براہ راست کارروائی، اور اعلی تھرمل کارکردگی شامل ہیں۔ الیکٹران گن کے نقصانات میں پیچیدہ ساخت، زیادہ قیمت، جمع ہونے کے دوران مرکبات کا آسانی سے گل جانا، اور کیمیائی عدم توازن شامل ہیں۔
انڈکشن حرارتی بخارات ایک ایسی ٹیکنالوجی ہے جو اعلی تعدد برقی مقناطیسی فیلڈ انڈکشن ہیٹنگ کا استعمال کرتے ہوئے مواد کو بخارات بنانے اور بخارات بنانے کے لیے استعمال کرتی ہے، انہیں سبسٹریٹ کی سطح پر ایک فلم میں گاڑھا کرتی ہے۔ اس کے فوائد میں بخارات کی اعلی شرح شامل ہے، جو کہ مزاحمتی بخارات کے ذریعہ سے تقریباً 10 گنا زیادہ ہو سکتی ہے۔ بخارات کے ماخذ کا درجہ حرارت مستحکم ہے، جس سے یہ چھڑکنے کا خطرہ کم ہوتا ہے۔ کروسیبل کا درجہ حرارت کم ہے، اور کروسیبل مواد میں جھلیوں کی خرابی کم ہے۔ اس کے نقصانات میں وانپیکرن ڈیوائس کو بچانے کی ضرورت، زیادہ قیمت اور پیچیدہ آلات شامل ہیں۔
اگرچہ ویکیوم کوٹنگ کے آلات کے لیے ان تینوں بخارات کی کوٹنگ ٹیکنالوجیز کے اصول یکساں ہیں، لیکن یہ سب کوٹنگ کے لیے مواد کو بخارات بنانے کے لیے اعلی درجہ حرارت کے بخارات کا استعمال کرتے ہیں۔ تاہم، جس ماحول میں ان کا اطلاق ہوتا ہے وہ مختلف ہوتے ہیں، اور کوٹنگ کے مواد اور ذیلی جگہوں کی بھی مختلف ضروریات ہوتی ہیں۔
ہائی فریکوئنسی انڈکشن حرارتی بخارات ایک اعلی تعدد سرپل کوائل کے مرکز میں کوٹنگ مواد پر مشتمل ایک کروسیبل رکھنے کا عمل ہے، جس کے نتیجے میں کوٹنگ کے مواد کو ہائی فریکوئینسی برقی مقناطیسی فیلڈ کی شمولیت کے تحت مضبوط ایڈی کرنٹ اور ہسٹریسیس اثرات پیدا ہوتے ہیں۔ فلم کی پرت کو گرم کرنے میں جب تک کہ یہ بخارات بن کر بخارات نہ بن جائے۔ بخارات کا ذریعہ عام طور پر پانی سے ٹھنڈا ہوا ہائی فریکوئنسی کوائل اور گریفائٹ یا سیرامک (میگنیشیم آکسائیڈ، ایلومینیم آکسائیڈ، بوران آکسائیڈ، وغیرہ) کروسیبل پر مشتمل ہوتا ہے۔ ہائی فریکوئنسی پاور سپلائی 10000 سے کئی سو ہزار ہرٹز کی فریکوئنسی استعمال کرتی ہے، جس میں کئی سے کئی سو کلو واٹ کی ان پٹ پاور ہوتی ہے۔ جھلی کے مواد کا حجم جتنا چھوٹا ہوگا، انڈکشن فریکوئنسی اتنی ہی زیادہ ہوگی۔ انڈکشن کوائل فریکوئنسی عام طور پر واٹر کولڈ کاپر ٹیوبوں کا استعمال کرتے ہوئے تیار کی جاتی ہے۔ ہائی فریکوئنسی انڈکشن ہیٹنگ کے بخارات کے طریقہ کار کا نقصان یہ ہے کہ ان پٹ پاور کو ٹھیک کرنا آسان نہیں ہے۔ اس کے درج ذیل فوائد ہیں:
1. اعلی بخارات کی شرح:
2. بخارات کے ماخذ کا درجہ حرارت یکساں اور مستحکم ہے، اور پلاٹنگ کی بوندوں کی چھڑکاؤ پیدا کرنا آسان نہیں ہے۔
3. بخارات کے ذریعہ کی ایک بار لوڈنگ، درجہ حرارت کنٹرول نسبتا آسان ہے، اور آپریشن آسان ہے.
میگنیٹران سپٹرنگ کوٹنگ ٹیکنالوجی کے فوائد درج ذیل ہیں۔
1. اعلی تلچھٹ کی شرح. تیز رفتار میگنیٹران الیکٹروڈ کے استعمال کی وجہ سے، ایک بڑا آئن کرنٹ حاصل کیا جا سکتا ہے، جس سے اس کوٹنگ کے عمل کے جمع ہونے کی شرح اور پھٹنے کی شرح کو مؤثر طریقے سے بہتر بنایا جا سکتا ہے۔ دیگر سپٹرنگ کوٹنگ کے عمل کے مقابلے میں، میگنیٹران سپٹرنگ میں اعلی پیداواری صلاحیت اور پیداوار ہوتی ہے، اور یہ مختلف صنعتی پروڈکشنز میں بڑے پیمانے پر استعمال ہوتا ہے۔
2. اعلی طاقت کی کارکردگی. میگنیٹران سپٹرنگ اہداف عام طور پر 200V-1000V، عام طور پر 600V کی رینج کے اندر وولٹیج کا انتخاب کرتے ہیں، کیونکہ 600V کا وولٹیج صرف طاقت کی کارکردگی کی اعلیٰ ترین حد کے اندر ہوتا ہے۔
کم پھٹنے والی توانائی۔ کم وولٹیج میگنیٹرون کے ہدف پر لاگو ہوتا ہے اور مقناطیسی میدان کیتھوڈ کے قریب پلازما کو محدود کرتا ہے، جو زیادہ توانائی سے چارج شدہ ذرات کو سبسٹریٹ پر واقع ہونے سے روک سکتا ہے۔
3. سبسٹریٹ کا درجہ حرارت کم ہے۔ انوڈک ڈسچارج کے دوران پیدا ہونے والے الیکٹران کو سبسٹریٹ سپورٹ گراؤنڈنگ کی ضرورت کے بغیر استعمال کیا جا سکتا ہے، جو سبسٹریٹ پر الیکٹران کی بمباری کو مؤثر طریقے سے کم کر سکتا ہے۔ لہٰذا، سبسٹریٹ کا درجہ حرارت نسبتاً کم ہے، جو اسے پلاسٹک کے کچھ ذیلی ذخیروں کو کوٹنگ کرنے کے لیے بہت موزوں بناتا ہے جو زیادہ درجہ حرارت کے لیے زیادہ مزاحم نہیں ہوتے۔
میگنیٹران سپٹرنگ اہداف کی سطح پر ناہموار اینچنگ۔ میگنیٹران سپٹرنگ اہداف کی غیر مساوی سطح کی نقاشی غیر مساوی ہدف کے مقناطیسی فیلڈز کی وجہ سے ہوتی ہے، جس کے نتیجے میں ہدف کے مقامی مقامات پر اینچنگ کی شرح زیادہ ہوتی ہے اور ہدف کے مواد کے کم موثر استعمال کی شرح (صرف 20% -30% استعمال کی شرح) . لہذا، ہدف کے مواد کے استعمال کی شرح کو بہتر بنانے کے لیے، مخصوص ذرائع کے ذریعے مقناطیسی میدان کی تقسیم کو تبدیل کرنا، یا کیتھوڈ میں منتقل ہونے کے لیے میگنےٹ کا استعمال کرنا ضروری ہے، جس سے ہدف کے مواد کے استعمال کی شرح کو بھی بہتر بنایا جا سکتا ہے۔
4. جامع ہدف۔ جامع ہدف لیپت مصر دات فلمیں تیار کی جا سکتی ہیں۔ فی الحال، Ta Ti الائے، (Tb Dy) - Fe، اور Gb Co الائے فلموں کو جامع میگنیٹران سپٹرنگ ٹیکنالوجی کا استعمال کرتے ہوئے کامیابی کے ساتھ جمع کیا گیا ہے۔ جامع اہداف کے لیے چار قسم کے ڈھانچے ہیں، یعنی سرکلر ایمبیڈڈ اہداف، مربع ایمبیڈڈ اہداف، چھوٹے مربع ایمبیڈڈ اہداف، اور پنکھے کے سائز کے ایمبیڈڈ اہداف۔ ان میں، پنکھے کے سائز کا سرایت شدہ ہدف کا ڈھانچہ بہترین استعمال کا اثر رکھتا ہے۔
5. ایپلی کیشنز کی وسیع رینج۔ میگنیٹران سپٹرنگ کا عمل بہت سے عناصر کو جمع کر سکتا ہے، بشمول Ag, Au, C, Co, Cu, Fe, Ge, Mo, Nb, Ni, Os, Cr, Pd, Pt, Re, Rh, Si, Ta, Ti, Zr, SiO، AlO، GaAs، U، W، SnO، وغیرہ۔
ویکیوم آئن کوٹنگ ٹیکنالوجی
ویکیوم آئن چڑھانا ٹیکنالوجی(مختصر طور پر آئن چڑھانا) سب سے پہلے ڈی ایم نے تیار کیا تھا۔ میٹوکس کو 1963 میں ایک کوٹنگ ٹیکنالوجی کے طور پر تجویز کیا گیا تھا اور اسے عملی جامہ پہنایا گیا تھا جو بخارات اور پھٹنے کو یکجا کرتی ہے۔ یہ آئن بمباری پر مبنی ہے، جو لیپت شدہ مواد یا ورک پیس کو پگھلی ہوئی حالت میں گرم کرتا ہے، اور کیمیائی طور پر جمع شدہ دھات یا سیمی کنڈکٹر پتلی فلموں کو سبسٹریٹ کی سطح پر جمع کرنے کے لیے ہائی انرجی آئن بمباری کا استعمال کرتا ہے، اس طرح مخصوص ڈھانچے اور خصوصیات کے ساتھ پتلی فلمیں حاصل ہوتی ہیں۔
آئن چڑھانا کا عمل بخارات کے ذریعہ کو انوڈ اور ورک پیس کو کیتھوڈ سے جوڑنا ہے۔ جب تین سے پانچ ہزار وولٹ کا ہائی وولٹیج ڈائریکٹ کرنٹ لگایا جاتا ہے، تو بخارات کے ذریعہ اور ورک پیس کے درمیان آرک ڈسچارج پیدا ہوتا ہے۔ ویکیوم ہڈ میں بھری ہوئی ارگون گیس کی وجہ سے، کچھ آرگن گیس خارج ہونے والے الیکٹرک فیلڈ کے عمل کے تحت آئنائز ہو جاتی ہے، جس سے کیتھوڈ ورک پیس کے گرد پلازما ڈارک زون بنتا ہے۔ مثبت چارج شدہ آرگن آئن کیتھوڈ کے منفی ہائی وولٹیج کی طرف متوجہ ہوتے ہیں اور ورک پیس کی سطح پر شدید بمباری کرتے ہیں، جس کی وجہ سے ورک پیس کی سطح پر موجود ذرات اور گندگی چھڑک کر باہر پھینک دی جاتی ہے، اس طرح ورک پیس کی سطح کو نقصان پہنچایا جاتا ہے۔ مکمل طور پر آئن بمباری سے صاف. اس کے بعد، بخارات کے ماخذ کی AC پاور سپلائی منسلک ہو جاتی ہے، اور بخارات سے بنے مادے کے ذرات پگھل کر بخارات بن جاتے ہیں، گلو ڈسچارج زون میں داخل ہو کر آئنائز ہو جاتے ہیں۔ مثبت طور پر چارج شدہ بخارات شدہ مادی آئن، کیتھوڈ کی طرف سے اپنی طرف متوجہ ہوتے ہیں، آرگن آئنوں کے ساتھ ورک پیس کی طرف دوڑتے ہیں۔ جب ورک پیس کی سطح پر بخارات میں جمع ہونے والے مواد کے آئنوں کی مقدار چھڑکنے والے آئنوں کی مقدار سے زیادہ ہو جاتی ہے، تو وہ آہستہ آہستہ جمع ہو کر ورک پیس کی سطح پر مضبوطی سے چپکی ہوئی کوٹنگ بناتے ہیں۔
آئن چڑھانا کی کوٹنگ کی ساخت گھنی ہے، بغیر پن ہولز، بلبلوں اور یکساں موٹائی کے۔ یہ طریقہ اندرونی سوراخوں، نالیوں اور تنگ خالی جگہوں کے ساتھ کوٹنگ کرنے والے حصوں کے لیے بہت موزوں ہے جنہیں دوسرے طریقوں سے کوٹ کرنا مشکل ہے، اور دھاتی نوڈول نہیں بنتے۔ چھوٹی دراڑوں اور نقائص کو ٹھیک کرنے کی صلاحیت کی وجہ سے جیسے کہ ورک پیس کی سطح پر گڑھا ڈالنا، یہ عمل مؤثر طریقے سے سطح کے معیار اور لیپت شدہ حصوں کی جسمانی اور مکینیکل خصوصیات کو بہتر بنا سکتا ہے۔ تھکاوٹ کے ٹیسٹ سے پتہ چلتا ہے کہ اگر مناسب طریقے سے سنبھال لیا جائے تو، پلیٹنگ سے پہلے کے مقابلے میں ورک پیس کی تھکاوٹ کی زندگی 20٪ سے 30٪ تک بڑھ سکتی ہے۔
ویکیوم آئن کوٹنگ کی خصوصیات
وانپیکرن اور سپٹرنگ کے مقابلے میں، آئن چڑھانا میں درج ذیل خصوصیات ہیں:
(1) کوٹنگ کی اچھی آسنجن کارکردگی
عام ویکیوم کوٹنگ کے دوران، ورک پیس اور کوٹنگ کی سطح کو جوڑنے والی تقریباً کوئی منتقلی پرت نہیں ہوتی ہے۔ آئن چڑھانے کے دوران، جب آئن تیز رفتاری سے ورک پیس پر بمباری کرتے ہیں، تو وہ ورک پیس کی سطح میں گھس سکتے ہیں اور سبسٹریٹ میں گہرائی سے لگائے گئے ایک پھیلاؤ کی تہہ بنا سکتے ہیں۔ آئن چڑھانا کے انٹرفیس پھیلاؤ کی گہرائی چار سے پانچ مائکرو میٹر تک پہنچ سکتی ہے۔ کوٹنگ کے ابتدائی مرحلے میں، پھٹنا اور جمع ہونا ایک ساتھ رہتے ہیں، اور فلم اور سبسٹریٹ کے درمیان انٹرفیس پر ٹرانزیشن پرت یا فلم اور سبسٹریٹ کے اجزاء کی مخلوط پرت بن سکتی ہے، جسے سیڈو ڈفیوژن لیئر کہا جاتا ہے، جو چپکنے کی کارکردگی کو مؤثر طریقے سے بہتر بنا سکتی ہے۔ فلم کی پرت کی.
(2) مضبوط چڑھانا کی صلاحیت
آئن چڑھانے کے دوران، بخارات سے بنے مادے کے ذرات چارج شدہ آئنوں کی شکل میں برقی میدان کی سمت کے ساتھ حرکت کرتے ہیں۔ لہذا، جہاں کہیں بھی برقی میدان موجود ہے، وہاں ایک اچھی کوٹنگ حاصل کی جا سکتی ہے، جو کہ عام ویکیوم کوٹنگ سے بہت بہتر ہے جو صرف براہ راست سمت میں کوٹنگ حاصل کر سکتی ہے۔ لہٰذا، یہ طریقہ چڑھایا ہوا حصوں کے لیے بہت موزوں ہے جنہیں دوسرے طریقوں سے پلیٹ کرنا مشکل ہے، جیسے کہ اندرونی سوراخ، نالی، اور تنگ خلا۔
(3) اچھی کوٹنگ کا معیار
آئن چڑھانا کی کوٹنگ ایک گھنی ساخت، کوئی پن ہول، کوئی بلبلے، اور یکساں موٹائی ہے. یہاں تک کہ کناروں اور نالیوں کو بھی یکساں طور پر لیپت کیا جا سکتا ہے، اور دھاگوں جیسے حصوں کو بھی زیادہ سختی، زیادہ پہننے کی مزاحمت (کم رگڑ کی گنجائش)، اچھی سنکنرن مزاحمت، اور کیمیائی استحکام کے ساتھ لیپت کیا جا سکتا ہے، جس کے نتیجے میں فلم کی پرت کی طویل عمر ہوتی ہے۔ ایک ہی وقت میں، فلم کی پرت نمایاں طور پر ورک پیس کی ظاہری شکل اور آرائشی کارکردگی کو بہتر بنا سکتی ہے۔
(4) صفائی کے عمل کو آسان بنائیں
زیادہ تر موجودہ کوٹنگ کے عمل میں پہلے سے ہی ورک پیس کی سخت صفائی کی ضرورت ہوتی ہے، اور یہ عمل نسبتاً ذمہ دار ہے۔ آئن چڑھانے کے عمل کے دوران، گلو ڈسچارج سے پیدا ہونے والے اعلیٰ توانائی کے ذرات کی ایک بڑی تعداد کو سطح پر کیتھوڈک اسپٹرنگ اثر پیدا کرنے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے، جو سبسٹریٹ کی سطح پر جذب ہونے والی گیس اور تیل کو پھوڑنے کے ذریعے صاف کرتا ہے، جب تک سبسٹریٹ کی سطح کو صاف نہیں کرتا۔ کوٹنگ کا پورا عمل مکمل ہو گیا ہے، جس سے پلیٹنگ سے پہلے کی صفائی کے کام کو آسان بنایا جا رہا ہے۔
(5) وسیع پیمانے پر دستیاب چڑھایا مواد
آئن چڑھانا ایک ورک پیس کی سطح پر بمباری کرنے کے لئے اعلی توانائی والے آئنوں کا استعمال کرنے کا عمل ہے، جس سے ورک پیس کی سطح پر بڑی مقدار میں برقی توانائی کو تھرمل توانائی میں تبدیل کیا جاتا ہے، اس طرح سطح کے بافتوں میں پھیلاؤ اور کیمیائی رد عمل کو فروغ ملتا ہے، اور ورک پیس اعلی درجہ حرارت سے متاثر نہیں ہوتا ہے۔ لہذا، اس کوٹنگ کے عمل میں ایپلی کیشنز کی ایک وسیع رینج ہے اور کم محدود ہے۔ عام طور پر، مختلف دھاتوں، مرکب دھاتوں کے ساتھ ساتھ بعض مصنوعی مواد، موصلیت کا مواد، تھرموس حساس مواد، اور اعلی پگھلنے والے مواد کو چڑھایا جا سکتا ہے۔ دھاتی ورک پیس کو غیر دھاتوں یا دھاتوں کے ساتھ ساتھ دھاتوں یا غیر دھاتوں، اور یہاں تک کہ پلاسٹک، ربڑ، کوارٹج، سیرامکس وغیرہ کے ساتھ چڑھایا جا سکتا ہے۔
ویکیوم آئن کوٹنگ کی درجہ بندی
مختلف بخارات کے ذرائع اور ایٹموں کے لیے آئنائزیشن اور اتیجیت کے طریقوں کے مختلف امتزاج ہیں، جس کے نتیجے میں بخارات کے بہت سے ذرائع آئن چڑھانے کے طریقے سامنے آتے ہیں۔ عام طریقوں میں جھلی کے ذرات کے حصول پر مبنی سپٹرنگ آئن چڑھانا اور بخارات کی آئن چڑھانا شامل ہیں۔
1. سپٹرنگ ٹائپ آئن چڑھانا
جھلی کے مواد کی سطح کو تھپکنے کے لیے اعلی توانائی والے آئنوں کا استعمال کرتے ہوئے، دھاتی ذرات پیدا ہوتے ہیں۔ دھاتی ذرات گیس خارج ہونے والی جگہ میں دھاتی آئنوں میں ionize کرتے ہیں، اور وہ منفی تعصب کے تحت سبسٹریٹ تک پہنچ جاتے ہیں تاکہ جمع ہو کر فلم بن سکے۔
بخاراتی آئن چڑھانا
دھاتی بخارات کو بخارات بنانے اور پیدا کرنے کے لیے مختلف حرارتی طریقوں کے ذریعے کوٹنگ کے مواد کو گرم کرنا، جسے پھر دھاتی آئنوں میں آئنائز کرنے کے لیے مختلف طریقوں سے پرجوش گیس خارج ہونے والی جگہ میں داخل کیا جاتا ہے۔ یہ آئن منفی تعصب کے تحت سبسٹریٹ تک پہنچتے ہیں اور فلم میں جمع ہوجاتے ہیں۔
ان میں سے، evaporative آئن چڑھانا DC دو مرحلے آئن چڑھانا، کھوکھلی کیتھوڈ آئن چڑھانا، گرم تار آرک آئن چڑھانا، اور کیتھوڈ آرک آئن چڑھانا مختلف خارج ہونے والے اصولوں کے مطابق تقسیم کیا جا سکتا ہے۔ ڈی سی سیکنڈری آئن چڑھانا ایک مستحکم گلو ڈسچارج ہے۔ کھوکھلی کیتھوڈ آئن چڑھانا اور گرم تار آرک آئن چڑھانا دونوں تھرمل آرک ڈسچارج ہیں، اور الیکٹرانوں کے پیدا ہونے کی وجہ کا خلاصہ یہ کیا جا سکتا ہے کہ دھاتی مواد کو زیادہ درجہ حرارت پر گرم کرنے کی وجہ سے نیوکلئس کے باہر الیکٹرانوں کا تھرمل اخراج؛ کیتھوڈک آرک آئن چڑھانا کی ڈسچارج قسم آئن چڑھانا کی پچھلی اقسام سے مختلف ہے، اور اس میں کولڈ آرک ڈسچارج استعمال ہوتا ہے۔
(1) کھوکھلی کیتھوڈ آئن چڑھانا (HCD)
پلازما الیکٹران بیم پیدا کرنے کے لیے کھوکھلی گرم کیتھوڈ ڈسچارج کا استعمال۔ کھوکھلی کیتھوڈ آئن چڑھانا کی خصوصیات: ① HCD کھوکھلی کیتھوڈ گن جھلی کے مادے کی گیسیفیکیشن کے لئے حرارت کا ذریعہ اور بخارات والے ذرات کے لئے آئنائزیشن کا ذریعہ ہے، اور آئنائزیشن کا طریقہ کم دباؤ والے الیکٹران بیم کے تصادم کا استعمال کرنا ہے۔ ② ایکسلریشن وولٹیج کا استعمال کرتے ہوئے جو کہ 0V سے لے کر کئی سو وولٹ تک ہے، آئنائزیشن اور آئن ایکسلریشن آزادانہ طور پر کام کرتے ہیں ری ایکٹیو آئن چڑھانا اچھی طرح سے انجام دے سکتے ہیں۔ ④ سبسٹریٹ کے درجہ حرارت میں اضافہ چھوٹا ہے، اور کوٹنگ کے دوران سبسٹریٹ کو اب بھی گرم کرنے کی ضرورت ہے۔ ⑤ اعلی ionization کارکردگی، بڑے الیکٹران بیم جگہ، اور مختلف فلموں پر جمع کیا جا سکتا ہے.
(2) کیتھوڈک آرک آئن چڑھانا
کیتھوڈک آرک آئن پلیٹنگ مین اسٹریم آئن کوٹنگ ٹیکنالوجی کی انتہا ہے، جو کولڈ آرک ڈسچارج کو اپناتی ہے اور بہت سی PVD کوٹنگ ٹیکنالوجیز میں سب سے زیادہ پارٹیکل آئنائزیشن کی شرح رکھتی ہے۔
